ICS17.040.30 CCSN51 中华人民共和国国家标准 GB/T44926—2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法 Nanotechnologies—Characterizationofmicrosurfaceandsubsurface— Opticaldark-fieldconfocalmicroscopy 2024-12-31发布 2025-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 原理 2 ……………………………………………………………………………………………………… 5 设备配置及测量条件 4 …………………………………………………………………………………… 6 测量步骤 4 ………………………………………………………………………………………………… 7 数据处理 5 ………………………………………………………………………………………………… 8 结果表征 6 ………………………………………………………………………………………………… 9 影响表征结果的因素 6 …………………………………………………………………………………… 10 测试报告 7 ………………………………………………………………………………………………… 附录A(规范性) 暗场散射共焦模块 8 …………………………………………………………………… 附录B(资料性) 光学暗场共焦显微镜测量结果倾斜矫正方法 9 ……………………………………… 附录C(资料性) 光学暗场共焦显微镜亚表面测量介质校正系数计算方法 11 ………………………… 附录D(资料性) 钕玻璃光学暗场共焦显微测量结果示例 13 …………………………………………… 附录E(资料性) 亚表面台阶高度测量结果示例 15 ……………………………………………………… 参考文献 16 …………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T44926—2024