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ICS17.040. 30 GB CCS J 42 中华人民共和国国家标准 GB/T43915—2024 纳米几何量标准样板测试方法 Testing method for nano geometric standard samples 2024-04-25发布 2024-11-01 实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T43915—2024 目 次 前言 II 1 范围 2 规范性引用文件 术语和定义 测试方法分类及原理 4 4.1 纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理 4.2 纳米线宽标准样板测试方法分类及原理 4.3 纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理 纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理 4.4 5测试设备 5 5.1 设备选择 5.2 设备要求 5 测试环境 6 6 测试程序 7 6 7.1 外观 7.2 纳米线间隔标准样板测试 7.3 纳米线宽标准样板测试 7.4 纳米台阶高度标准样板测试 纳米膜厚标准样板测试 7.5 8测试数据处理 8.1 纳米线间隔标准样板测试数据处理 8.2 纳米线宽标准样板测试数据处理 8.3 纳米台阶高度标准样板测试数据处理 8.43 纳米膜厚标准样板测试数据处理 附录A（资料性）标准样板测试记录 参考文献 10

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