ICS 31. 200 L 56 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 17866—1999 idt SEMI P23:1993 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems 1999-09-13发布 2000-06-01实施国家质量技术督局发布中国标准出版社授权北京万方数据股份有限公司在中国境内（不含港澳台地区）推广使用

GB-T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

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