ICS 31.200 L 56 中华人民共和国国家标准 GB/T 17865-1999 idt SEMI P25:1994 焦深与最佳聚焦的测量规范 Specification for measuring depth of focus and best focus 1999-09~13发布 2000-06-01实施国家质量技术监督局发布 GB/T17865—1999 目次前言 1 范围 2 引用标准 3 术语 4 方法 5 报告

GB-T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范

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