(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222283370.3 (22)申请日 2022.08.29 (73)专利权人 无锡新诚真空科技发展 有限公司 地址 214028 江苏省无锡市新吴区硕放工 业集中区墙门村张更 上1号 (72)发明人 王松　 (74)专利代理 机构 深圳市广诺专利代理事务所 (普通合伙) 44611 专利代理师 唐飞 (51)Int.Cl. F04F 9/00(2006.01) F04F 9/04(2006.01) F04C 2/12(2006.01) F04C 15/06(2006.01) F04C 15/00(2006.01)F16L 55/033(2006.01) F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 一种真空镀膜机真空系统布局新结构 (57)摘要 本实用新型涉及真空系统技术领域， 具体为 一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 包括矩形 真空仓， 所述矩形真空仓的底部安装有高真空扩 散泵， 所述矩形真空仓的一侧连接有管道， 所述 管道的一端连接有一号气动阀门， 所述一号气动 阀门的一侧连接有一级罗茨泵， 所述一级罗茨泵 的一侧连接有二号气动阀门， 所述二号气动阀门 的一侧连接有二级罗茨泵。 该真空镀膜机真空系 统布局新结构， 与现有技术相比可以通过采用一 级罗茨泵和二级罗茨泵的串 联来替代增压泵， 从 而能够在降低能耗的情况下， 提高功率， 同时在 一级罗茨泵和二级罗茨泵的连接管道上， 采取采 用圆弯头替代直角转弯， 减少阻力， 节能减排， 从 而能够在设计上 更加紧凑、 合理。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217950807 U 2022.12.02 CN 217950807 U 1.一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特 征在于， 包括： 矩形真空仓(1)， 所述矩形真空仓(1)的底部安装有高真空扩散泵(10)， 所述矩形真空 仓(1)的一侧连接有管道(6)， 所述管道(6)的一端连接有一号气动阀门(3)， 所述一号气动 阀门(3)的一侧连接有一级罗茨泵(4 )， 所述一级罗茨泵(4 )的一侧连接有二号气动阀门 (5)， 所述二号气动阀门(5)的一侧连接有二级罗茨泵(7)， 所述二级罗茨泵(7)的另一端连 接有滑阀泵(8)， 所述滑阀泵(8)的底部安装有支撑座(9)。 2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特征在于， 所述管道 (6)还设有： 上封闭架(2)， 其安装在所述管道(6)的上方， 所述上封闭架(2)的内部穿设有固定螺栓 柱(16)， 所述上封闭架(2)的下方安装有下管道架(11)， 所述下管道架(11)的下方设置有缓 冲柱(15)， 所述缓冲柱(15)的侧面设置有导向柱(12)， 所述导向柱(12)的底部安装有底部 块(14)， 所述底部块(14)的内部开设有固定 槽(13)； 外套壳(19)， 其安装在 所述上封闭架(2)的内部， 所述外套壳(19)的内部设置有减震连 接条(18)， 所述减震连接条(18)的另一端连接有内套壳(17)， 所述外套壳(19)的内部设置 有内吸音层(20)。 3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特征在于， 所述外套 壳(19)与内套壳(17)的结构的横截面均为圆环结构， 且外套壳(19)通过减震 连接条(18)与 内套壳(17)之间为固定连接 。 4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特征在于， 所述导向 柱(12)与底部块(14)之间为固定连接， 且导向柱(12)与下 管道架(11)之间为活动连接 。 5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特征在于， 所述上封 闭架(2)通过固定螺栓柱(16)与下管道架(11)之间为螺纹连接， 且 上封闭架(2)和下管道架 (11)均与外套壳(19)之间为固定连接 。 6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特征在于， 所述一级 罗茨泵(4)通过管道(6)与二级罗茨泵(7)之间相互连通， 且一号气动阀门(3)和二号气动阀 门(5)均与管道(6)之间构成密封结构。 7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 其特征在于， 所述滑阀 泵(8)与支撑座(9)之间为螺纹连接， 且矩形真空仓(1)与支撑座(9)之间为固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217950807 U 2一种真空镀膜机真空系统布局新 结构 技术领域 [0001]本实用新型涉及真空系统技术领域， 具体为一种真空镀膜机真空系统布局新结 构。 背景技术 [0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜， 具体包括很多种类， 包 括真空电阻加热蒸发， 电子枪加热蒸发等很多种， 主 要应用于汽车加工等领域。 [0003]现有的真空镀膜机 的真空系统组成， 是有扩散泵、 增压泵、 罗茨泵及滑阀泵组成， 这种设计结构， 管道凌乱且总长度过长， 阻力大， 而且增压泵 是要保持在一定的温度下才可 以工作， 能耗很大， 为此， 我们提出一种真空镀膜机真空系统布局新结构。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机真空系统布局新结构， 以解决上述背 景技术中提出由于现有的真空镀膜机的真空系统组成， 是有扩散泵、 增压泵、 罗茨泵及滑阀 泵组成， 这种设计结构， 管道凌乱且总长度过长， 阻力大， 而且增压泵是要保持在一定的温 度下才可以工作， 能耗很大的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种真空镀膜机真空系统布局 新结构， 包括： [0006]矩形真空仓， 所述矩形真空仓 的底部安装有高真空扩散泵， 所述矩形真空仓 的一 侧连接有管道， 所述管道的一端连接有一号气动阀门， 所述一号气动阀门的一侧连接有一 级罗茨泵， 所述一级罗茨泵的一侧连接有二号气动阀门， 所述二号气动阀门的一侧连接有 二级罗茨泵， 所述 二级罗茨泵的另一端连接有滑阀泵， 所述滑阀泵的底部安装有支撑座。 [0007]优选的， 所述管道还设有： [0008]上封闭架， 其安装在所述管道的上方， 所述上封闭架的内部穿设有固定螺栓柱， 所 述上封闭架的下方安装有下管道架， 所述下管道架的下方设置有缓冲柱， 所述缓冲柱的侧 面设置有导向柱， 所述 导向柱的底部安装有底部块， 所述底部块的内部开设有固定 槽； [0009]外套壳， 其安装在所述上封闭架的内部， 所述外套壳的内部设置有减震连接条， 所 述减震连接条的另一端连接有内套壳， 所述外套壳的内部设置有内吸音层。 [0010]优选的， 所述外套壳与内套壳的结构的横截面均为圆环结构， 且外套壳通过减震 连接条与内套壳之间为固定连接 。 [0011]优选的， 所述导向柱与底部块之间为固定连接， 且导向柱与下管道架之间为活动 连接。 [0012]优选的， 所述上封闭架通过固定螺栓柱与下管道架之间为螺纹连接， 且上封闭架 和下管道架均与外套壳之间为固定连接 。 [0013]优选的， 所述一级罗茨泵通过管道与二级罗茨泵之间相互连通， 且一号气动阀门 和二号气动阀门均 与管道之间构成密封结构。说　明　书 1/3 页 3 CN 217950807 U 3