(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221899750.3 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 晶芯半导体 （黄石） 有限公司 地址 435000 湖北省黄石市经济技 术开发 区马垅畈路5 5号 (72)发明人 戴维廷　左鹏　王志腾　杨顺　 张丙勇　黄敏慧　马强　李席席　 (74)专利代理 机构 武汉世跃专利代理事务所 (普通合伙) 42273 专利代理师 万仲达 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 15/04(2006.01) B08B 11/02(2006.01)F16M 3/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种便于移动的中段清洗 机 (57)摘要 本实用新型公布了一种便于移动 的中段清 洗机， 包括箱 体、 吸盘和移动组件， 箱 体内固接有 横板， 吸盘设置在横板上， 箱体内的顶部固定安 装有喷水管， 箱 体内的底部固接有收集箱和储水 箱， 移动组件设置在箱体的底部， 移动组件包括 支撑块、 滚轮和双向螺杆， 支撑块固接在箱体的 底部， 并呈矩形阵列排布， 左右侧支撑块上均开 设有向内侧倾斜向下的斜槽， 前后侧对应的斜槽 之间均插接有横杆， 横杆的前后两端均转动连接 有滚轮， 箱体的底部设置有双向螺杆， 各横杆上 均固接有与双向螺杆螺纹连接的驱动板； 本实用 新型的有益效果是， 便于实现对清洗机的移动， 使用者可以将清洗机移动到指定的地方， 从而提 高工作的效率， 同时使用方便， 提高了清洗机的 实用性。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 218108593 U 2022.12.23 CN 218108593 U 1.一种便于移动的中段清洗机， 其特征在于： 包括箱体(1)、 吸盘(2)和移动组件(3)， 所 述箱体(1)内固接有横板(11)， 所述吸盘(2)设置在横板(11)上， 所述箱体(1)内的顶部固定 安装有喷水管(4)， 且喷水管(4)的底部沿长度方向均匀设有多个喷头(41)， 所述箱体(1)内 的底部固接有收集箱(12)和 储水箱(13)， 所述储水箱(13)内设有吸水泵(14)， 所述吸水泵 (14)的出水口固接有出水管(15)， 且 出水管(15)的另一端分别贯穿储水箱(13)的顶部与 横 板(11)并与喷水管(4)的右侧固定连接， 所述收集箱(12)的顶部与横板(11)的顶部之间通 过排水管(16)固定连接， 所述移动组件(3)设置在箱体(1)的底部， 移动组件(3)包括支撑块 (31)、 滚轮(32)和双向螺杆(33)， 所述支撑块(31)固接在箱体(1)的底部， 并呈矩形阵列排 布， 左侧两个支撑块(31)与右侧 两个支撑块(31)上均开设有向内侧倾斜向下的斜槽(34)， 前侧两个所述斜槽(34)与对应的后侧两个所述斜槽(34)之间均插接有横杆(35)， 所述横杆 (35)的前后两端均转动连接有滚轮(32)， 所述箱 体(1)的底部固接有U型架(36)， 所述U型架 (36)的内侧壁开设有滑槽(37)， 所述滑槽(37)内滑动 连接有滑块(38)， 所述双向螺杆(33) 转动连接在对应的滑块(38)上， 且双向螺杆(33)的右侧端 固接有转轮(39)， 转轮(39)的右 侧转动连接有转杆(310)， 各所述横杆(35)上均固接有与双向螺杆(33)螺纹连接的驱动板 (311)。 2.根据权利要求1所述一种便于移动的中段清洗机， 其特征在于： 所述吸盘(2)的顶部 中心处开设有锥形孔(21)， 且吸盘(2)的底部固接有与锥形孔(21)相连通的空心轴(22)， 所 述空心轴(22)上转动连接有轴承(23)， 且轴承(23)的外侧壁固定嵌设在横板(11)上， 所述 空心轴(22)的底部转动连接有连接座(2 4)， 且连接座(24)的右侧与 横板(11)的底部 之间固 接有L型固定板(25)， 所述箱体(1)内的左侧底部固定安装有吸气泵(26)， 且吸气泵(26)的 吸气口与连接座(24)的底部之间通过吸气管(27)相连通。 3.根据权利要求2所述一种便于移动的中段清洗机， 其特征在于： 所述吸盘(2)的顶部 设有弹性硅胶垫(28)。 4.根据权利要求2所述一种便于移动的中段清洗机， 其特征在于： 所述空心轴(22)上位 于连接座(24)的一侧固接有传动轮(29)， 横板(11)下方所述箱体(1)的左侧内部固定安装 有电机(17)， 所述电机(17)的输出轴头部固接有驱动轮(18)， 所述驱动轮(18)与传动轮 (29)之间通过皮带(19)传动连接 。 5.根据权利要求1所述一种便于移动的中段清洗机， 其特征在于： 所述横板(11)的上方 开设有废水收集槽(1 10)。 6.根据权利要求1所述一种便于移动的中段清洗机， 其特征在于： 横板(11)上方所述箱 体(1)的前侧转动连接有第一箱门(111)， 横板(11)下方所述箱体(1)的前侧转动连接有第 二箱门(1 12)， 所述箱体(1)的右侧壁固接有推拉把手(1 13)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218108593 U 2一种便于移动的中 段清洗机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及清洗 机技术领域， 具体涉及一种便 于移动的中段清洗 机。 背景技术 [0002]在半导体晶圆的加工工艺中， 显影和 蚀刻是两个重要的加工流程， 而在对晶圆进 行显影和蚀刻加工后， 晶圆上不可避免的会残留一些化学药剂， 化学药剂的存在会在一定 程度上影响晶圆品质， 因此， 需使用清洗装置来对晶圆表面的化学 药剂残留进行清洗 。 [0003]目前市场上现有的清洗机大多都不具备移动的功能， 在需要对清洗机进行移动 时， 通常需要消 耗大量的人力物力， 同时耗时长， 降低了清洗机的实用性， 不满足现有使用 者的使用需求。 [0004]因此， 有必要提供一种便 于移动的中段清洗 机解决上述 技术问题。 实用新型内容 [0005]为解决上述问题， 本实用新型提供了一种便于移动的中段清洗机， 本实用新型是 通过以下技 术方案来实现的。 [0006]一种便于移动的中段清洗机， 包括箱体、 吸盘和移动组件， 所述箱体内固接有横 板， 所述吸盘设置在横板上， 所述箱体内的顶部固定安装有喷水管， 且喷水管的底部沿长度 方向均匀设有多个 喷头， 所述箱体内的底部固接有收集箱和储水箱， 所述储水箱内设有吸 水泵， 所述吸水泵的出水 口固接有出水管， 且出水管 的另一端分别贯穿储水箱的顶部与横 板并与喷水管的右侧固定连接， 所述收集箱的顶部与横板的顶部之间通过排水管固定连 接， 所述移动组件设置在箱体的底部， 移动组件包括支撑块、 滚轮和双向螺杆， 所述支撑块 固接在箱体的底部， 并呈矩形阵列排布， 左侧两个支撑块与右侧两个支撑块上均开设有向 内侧倾斜向下 的斜槽， 前侧两个所述斜槽与对应的后侧两个所述斜槽之间均插接有横杆， 所述横杆的前后两端均转动连接有滚轮， 所述箱体的底部固接有U型架， 所述U型架的内侧 壁开设有滑槽， 所述滑槽内滑动连接有滑块， 所述双向螺杆转动连接在 对应的滑块上， 且双 向螺杆的右侧端固接有转轮， 转轮的右侧 转动连接有转杆， 各所述横杆上均固接有与双向 螺杆螺纹连接的驱动板 。 [0007]优选的， 所述吸盘的顶部中心处开设有锥形孔， 且吸盘 的底部固接有与锥形孔相 连通的空心轴， 所述空心轴上转动连接有轴承， 且轴承的外侧壁固定嵌设在横板上， 所述空 心轴的底部转动连接有 连接座， 且连接座的右侧与横板的底部之间固接有L型固定板， 所述 箱体内的左侧底部固定安装有吸气泵， 且吸气泵的吸气口与连接座的底部之间通过吸气管 相连通。 [0008]优选的， 所述吸盘的顶部设有弹性硅胶垫 。 [0009]优选的， 所述空心轴上位于连接座的一侧固接有传动轮， 横板下方所述箱体 的左 侧内部固定安装有电机， 所述电机的输出轴头部固接有驱动轮， 所述驱动轮与传动轮之间 通过皮带传动连接 。说　明　书 1/4 页 3 CN 218108593 U 3