(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221616778.1 (22)申请日 2022.06.27 (73)专利权人 云南禄丰隆晟新材 料科技有限公 司 地址 651205 云南省楚雄彝族自治州禄丰 市仁兴镇革里村委会阿三村 （罗次铁 矿） (72)发明人 谭宇明　高英强　赵兵　王雪松　 (51)Int.Cl. F26B 5/02(2006.01) F26B 20/00(2006.01) F26B 11/22(2006.01) F26B 17/10(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F26B 25/04(2006.01)F26B 25/18(2006.01) F26B 25/22(2006.01) (54)实用新型名称 硅泥回收再利用装置 (57)摘要 本实用新型公开了硅泥回收再利用装置， 涉 及硅片生产技术领域。 本实用新型包括下烘干 盘、 上烘干盘、 搅拌组件、 升降机构和烘干降尘 组 件， 下烘干盘放置在称重台上， 称重台固定在机 架的内部底 面上； 上烘干盘设置在下烘干盘的正 上方， 搅拌组件设置在上烘干盘的内部； 升降机 构设置在机架的顶部并驱动上烘干盘升降； 烘干 降尘组件套设在上烘干盘上； 烘干降尘组件包括 环形管、 连接 管、 烘干管和降尘管； 环形管固定套 设在上烘干盘的外部， 环形管上设置有多个沿圆 周均匀分布的短管。 本实用新型能小范围对硅泥 进行全面烘干， 烘干的均匀性更好， 硅泥的回收 率高， 且环保性较好， 解决了现有的再利用装置 烘干均匀性差， 且环保性 不够的问题。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217483108 U 2022.09.23 CN 217483108 U 1.硅泥回收再利用装置， 包括下烘干盘 （1） 、 上烘干盘 （2） 、 搅拌组件 （3） 、 升降机构 （4） 和烘干降尘组件 （5） ， 其特征在于： 所述下烘干盘 （1） 放置在称 重台 （7） 上， 所述称 重台 （7） 固 定在机架 （6） 的内部底面上； 所述上烘干盘 （2） 设置在所述下烘干盘 （1） 的正上方， 所述搅拌组件 （3） 设置在所述上 烘干盘 （2） 的内部； 所述升降机构 （4） 设置在所述机架 （6） 的顶部并驱动所述上烘干盘 （2） 升降； 所述烘干降尘组件 （5） 套设在所述上烘干盘 （2） 上， 所述烘干降尘组件 （5） 包括环形管 （51） 、 连接管 （5 3） 、 烘干管 （54） 和降尘管 （5 5） ； 所述环形管 （51） 固定套设在所述上烘干盘 （2） 的外部， 所述环形管 （51） 上设置有多个 沿圆周均匀分布的短管 （52） ， 所述短管 （52） 经穿 孔 （23） 插 入至所述上烘干盘 （2） 的内部； 所述环形管 （51） 与所述连接管 （53） 的一端固定连接， 所述连接管 （53） 的另一端通过三 通分别与所述烘干管 （54） 和所述降尘管 （55） 固定连接， 所述烘干管 （54） 和所述降尘管 （55） 上均设置有电磁阀 （5 6） 。 2.根据权利要求1所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述烘干管 （54） 的端部与 第一风机 （57） 的出口固定连接， 所述第一风机 （57） 的进口通过管道与电加热箱 （58） 的出口 固定连接； 所述第一 风机 （57） 和所述电加热箱 （58） 均固定在所述机架 （6） 的背面上。 3.根据权利要求2所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述降尘管 （55） 的端部与 净化箱 （59） 的进口固定连接， 所述净化箱 （59） 的出口通过管道与第二风机 （510） 的进口固 定连接； 所述净化箱 （59） 和所述第二 风机 （510） 亦均固定在所述机架 （6） 的背面上。 4.根据权利要求3所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述环形管 （51） 、 烘干管 （54） 和降尘管 （5 5） 均为硬质管， 所述连接管 （5 3） 为软质管。 5.根据权利要求4所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述下烘干盘 （1） 的顶部 边缘处设置有定位环 （1 1） ； 所述上烘干盘 （2） 的底部边 缘处设置有与所述定位环 （1 1） 相配合的定位槽 （21） 。 6.根据权利要求5所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述上烘干盘 （2） 的内部 顶面上设置有三个沿圆周均匀分布的超声 波发生器 （2 2） 。 7.根据权利要求6所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述搅拌组件 （3） 包括搅 拌叶片 （31） 和搅拌电机 （32） ； 所述搅拌叶片 （31） 设置在 所述上烘干盘 （2） 的内部 并固定在所述搅拌电机 （32） 的输出 轴上， 所述搅拌电机 （32） 固定在所述上烘干盘 （2） 的顶部； 所述搅拌叶片 （31） 的尺寸与所述下烘干盘 （1） 的内径相当。 8.根据权利要求7所述的硅泥回收再利用装置， 其特征在于， 所述升降机构 （4） 包括连 接架 （41） 、 气缸 （42） 和导杆 （43） ； 所述连接架 （41） 的底部与所述上烘干盘 （2） 的顶部固定连接， 所述连接架 （41） 的顶部 与所述气缸 （42） 的活塞杆端部固定连接， 所述气缸 （42） 的缸体固定在所述机架 （6） 的顶部； 所述导杆 （43） 设置有两个， 并对称分布在所述气缸 （42） 的两侧， 所述导杆 （43） 的底端 固定在所述上烘干盘 （2） 的顶部， 所述 导杆 （43） 的顶端活动贯 穿所述机架 （6） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217483108 U 2硅泥回收 再利用装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于 硅片生产技 术领域， 特别是 涉及硅泥回收再利用装置 。 背景技术 [0002]废硅泥来源为半导体或太阳能晶圆厂经切割或研磨制程产生， 由于 “硅泥”中硅粉 的尺寸较小， 且含有 水分和非硅杂质， 回收再利用难度较高。 一般通过经过干燥脱 水作为耐 火材料使用， 或简单烧结后作为钢铁冶炼原料使用， 导致大量的硅泥无法有效回收应用于 多晶硅加工中。 由于硅泥价格低廉， 且 无法有效重复利用于硅片加工， 限制了多晶硅生产成 本， 造成了能源浪费。 [0003]针对传统的对硅泥处理不当而造成资源 浪费的问题， 提供一种硅泥回收再利用装 置， 但现有的回收再利用装置在实际使用中仍存在以下弊端： [0004]1． 现有的装置烘干均匀性差， 难以对硅泥 进行全面的烘干处 理； [0005]2． 现有的装置烘干过程中环保性不够， 含尘空气容易污染周围环境， 且也对工人 的健康产生影响。 [0006]因此， 现有的回收再利用装置， 无法满足实际使用中的需求， 所以市面上迫切需要 能改进的技 术， 以解决上述问题。 实用新型内容 [0007]本实用新型的目的在于提供硅泥回收再利用装置， 能小范围对硅泥进行全面烘 干， 烘干的均匀 性更好， 硅泥的回收率高， 且环保性较好， 解决了现有的再利用装置烘干均 匀性差， 且环保性 不够的问题。 [0008]为解决上述 技术问题， 本实用新型 是通过以下技 术方案实现的： [0009]本实用新型为硅泥回收再利用装置， 包括下烘干盘、 上烘干盘、 搅拌组件、 升降机 构和烘干降尘组件， 下烘干盘放置在称重台上， 称重台固定在机架的内部底面上； 上烘干盘 设置在下烘干盘的正上方， 搅拌组件设置在上烘干盘的内部； 升降机构设置在机架的顶部 并驱动上烘干盘升降； 烘干降尘组件套设在上烘干盘上。 [0010]烘干降尘组件包括环形管、 连接管、 烘干管和降尘管； 环形管固定套设在上烘干盘 的外部， 环形管上设置有多个沿圆周均匀分布的短管， 短管经穿孔插入至上烘干盘的内部； 环形管与连接管的一端固定连接， 连接管的另一端通过三通分别与 烘干管和降尘管固定连 接， 烘干管和降尘管 上均设置有电磁阀。 [0011]进一步地， 烘干管的端部与第一风机 的出口固定连接， 第一风机的进口通过管道 与电加热箱的出口固定连接； 第一 风机和电加热箱均固定在机架的背面上。 [0012]进一步地， 降尘管的端部与净化箱的进口固定连接， 净化箱的出口通过管道与第 二风机的进口固定连接； 净化箱和第二 风机亦均固定在机架的背面上。 [0013]进一步地， 环形管、 烘干管和降尘管均为硬质管， 连接管为软质管。 [0014]进一步地， 下烘干盘 的顶部边缘处设置有定位环； 上烘干盘的底部边缘处设置有说　明　书 1/4 页 3 CN 217483108 U 3