(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211243758.9 (22)申请日 2022.10.12 (71)申请人 江苏东燃 机电科技有限公司 地址 226300 江苏省南 通市高新区金桥路 1188号高新科创优谷2-2# (72)发明人 王灿　 (74)专利代理 机构 南通玺运专利代理事务所 (普通合伙) 32675 专利代理师 付登云 (51)Int.Cl. H01L 21/677(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)发明名称 一种半导体元件加工用带有防护功能的输 送装置 (57)摘要 本发明公开了一种半导体元件加工用带有 防护功能的输送装置， 本发明涉及半导体元件加 工技术领域。 该半导体元件加工用带有防护功能 的输送装置， 包括传送装置， 所述传送装置的顶 部固定连接有激光检测装置， 所述传送装置的表 面设有柔性凸起板， 所述柔性凸起板的表面中心 处开设有放置槽， 所述放置槽的底部设有凸起 块， 所述放置槽的内部设有限位组件， 所述限位 组件包括限位板， 将半导体元件放置在放置槽的 内部， 并通过凸起块支撑起半导体元件， 运行风 机产生的气流去除半导体元件上下表 面的灰尘， 并通过排尘口排出 灰尘。 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 CN 115527909 A 2022.12.27 CN 115527909 A 1.一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 包括传送装置 （1） ， 其特征在于： 所述传送装置 （1） 的顶部固定连接有激光检测装置 （8） ， 所述传送装置 （1） 的表面设有柔性 凸起板 （7） ， 所述柔性凸起板 （7） 的表面中心处开设有放置槽 （2） ， 所述放置槽 （2） 的底部设 有凸起块 （3）， 所述放置槽 （2） 的内部设有限位组件 （4）， 所述限位组件 （4） 包括限位板 （401） ， 所述限位板 （401） 滑动安装在放置槽 （2） 的底部， 所述限位板 （401） 的底部固定连接 有倾斜板 （402） ， 所述倾斜板 （402） 的上方设有推压筒 （403） ， 且推压筒 （403） 滑动安装在放 置槽 （2） 的侧壁处， 所述限位板 （401） 的底部固定连接有复位条 （404） ， 且复位条 （404） 固定 安装在放置槽 （2） 的底部， 所述限位板 （401） 的顶部通过转轴转动连接有弧形下压板 （405） ， 所述弧形下压板 （405） 的侧壁固定连接有限位条 （406） ， 且限位条 （406） 固定安装在倾斜板 （402） 的顶端， 所述放置槽 （2） 的侧壁开设有上下两个排尘口 （407） ， 且两个排尘口 （407） 分 别位于凸起块 （3） 顶部的上下方， 所述传送装置 （1） 的上方固定连接有固定架 （5） ， 所述固定 架 （5） 的底部固定连接有风机 （6） 。 2.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述柔性凸起板 （7） 的侧壁固定连接有 过滤筒 （408） ， 所述过滤筒 （408） 的弯曲处设有 过 滤孔。 3.根据权利要求2所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述过滤筒 （408） 内部的上下方分别滑动连接有毛刷刮板 （409） ， 所述毛刷刮板 （409） 的 表面固定连接有第一弹性条 （410） ， 且第一弹性条 （410） 固定安装在过 滤筒 （408） 的内壁处。 4.根据权利要求3所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述毛刷刮板 （409） 的侧壁固定连接有导流板 （411） ， 所述过滤筒 （408） 的内部靠近排尘 口 （407） 处固定连接有V形分隔板 （412） 。 5.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述排尘口 （407） 的内部中心处通过转轴转动连接有密封板 （413） ， 所述排尘口 （407） 的 上方固定连接有限位杆 （414） ， 所述限位杆 （414） 的侧壁固定连接有第二 弹性条 （415） ， 且第 二弹性条 （415） 固定安装在 密封板 （413） 的侧壁处。 6.根据权利要求5所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述密封板 （413） 上方的内部设有倾斜槽 （416） ， 所述倾斜槽 （416） 的内部固定连接有伸 缩杆 （417） ， 所述伸缩杆 （417） 的外端固定连接有挤压球 （418） ， 所述密封板 （413） 下方的侧 壁固定连接有弧形板 （419） 。 7.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述放置槽 （2） 顶部滑动连接有密封片 （420） ， 所述密封片 （420） 的侧壁固定连接有第三 弹性条 （421） ， 且第三弹性条 （421） 固定安装在柔性凸起板 （7） 的侧壁处， 所述柔性凸起板 （7） 的上方固定连接有 弧形架 （422） ， 所述弧形架 （422） 的中心处贯穿有工形件 （423） ， 所述 工形件 （423） 的上 方套接有弹簧 （424） 。 8.根据权利要求7所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置， 其特征在 于： 所述工形件 （423） 的底部固定连接有第一磁块 （425） ， 所述密封片 （420） 的表面 嵌入连接 有第二磁块 （426） ， 且第一磁块 （425） 与第二磁块 （426） 磁性相 斥， 所述弧形架 （422） 的顶部 固定连接有绝磁层 （427） ， 所述传送装置 （1） 的顶部边缘处固定连接有第三磁块 （9） ， 且第三 磁块 （9） 与第二磁块 （426） 磁性相斥。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115527909 A 2一种半导体元件加工用带有防护 功能的输送装 置 技术领域 [0001]本发明涉及半导体元件加工技术领域， 具体为一种半导体元件加工用带有防护功 能的输送装置 。 背景技术 [0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 半导体在收音机、 电视 机以及测温上有着广泛的应用， 如二极管就是采用半导体制作的器件， 半导体是指一种导 电性可受控制， 范围可从绝缘体至导体之间的材料。 无论 从科技或是经济发展的角度来看， 半导体的重要性都是非常巨大的； 半导体元件加工流程中会经常用到输送装置， 而现有的输送装置在对半导体元件 进行输送时不够完善， 并未对半导体元件进行保护， 容易使待加工的半导体元件容易掺入 杂质， 进而使半导体元件的电阻率大 大下降。 发明内容 [0003]（一） 解决的技 术问题 针对现有技术的不足， 本发明提供了一种半导体元件加工用带有防护功能的输送 装置， 解决了待加工的半导体元件容易掺入杂质， 进而使半导体元件的电阻率大大下降的 问题。 [0004]（二） 技术方案 为实现以上目的， 本发明通过以下技术方案予以实现： 一种半导体元件加工用带 有防护功能的输送装置， 包括传送装置， 所述传送装置的顶部固定连接有激光检测装置， 所 述传送装置的表面设有柔性凸起板， 所述柔性凸起板的表面中心处开设有放置槽， 所述放 置槽的底部 设有凸起块， 所述放置槽的内部 设有限位组件， 所述限位组件包括限位板， 所述 限位板滑动安装在放置槽的底部， 所述限位板的底部固定连接有倾斜板， 所述倾斜板的上 方设有推压筒， 且推压筒滑动安装在放置槽的侧 壁处， 所述限位板的底部固定连接有复位 条， 且复位条固定安装在放置槽的底部， 所述限位板的顶部通过转轴转动连接有弧形下压 板， 所述弧形下压板的侧壁固定连接有限位条， 且限位条固定安装在倾斜板的顶端， 弧形下 压板通过限位条 的弹性力 保持倾斜， 所述放置槽的侧 壁开设有上下两个排尘口， 且两个排 尘口分别位于凸起块顶部的上下方， 所述传送装置的上方固定连接有固定架， 所述固定架 的底部固定连接有风机， 将半导体元件放置在放置槽的内部， 并通过凸起块支撑起半导体 元件， 运行风机产生的气流去除半导体元件上下表面的灰尘， 并通过排尘口排出灰尘， 限位 板通过复位条 的弹性力保持在放置槽的侧 壁处， 方便人员拿取或者放置半导体元件， 同时 为了避免气流吹起半导体元件， 气流下流推动推压筒挤压限位板， 使其抵住半导体元件的 侧壁， 同时弧形下压板受力下压在半导体元件的上表面， 进而避免在清理过程中半导体元 件受风力而位移， 对其表面产生损伤。 [0005]优选的， 所述柔性凸起板 的侧壁固定连接有过滤筒， 所述过滤筒的弯曲处设有过说　明　书 1/5 页 3 CN 115527909 A 3