(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211296821.5 (22)申请日 2022.10.21 (71)申请人 深圳赛意法微电子有限公司 地址 518038 广东省深圳市福田区福保街 道福田保税区桃花路16号 (72)发明人 董志云　 (74)专利代理 机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 4 4205 专利代理师 谢岳鹏 (51)Int.Cl. G01N 1/28(2006.01) G01N 1/32(2006.01) G01N 1/34(2006.01) G01N 1/44(2006.01) (54)发明名称 样品处理设备 (57)摘要 本发明公开了样品处理设备， 包括机架组件 以及连接于机架组件的上料组件、 下料组件、 第 一移料组件与第二移料组件， 机架组件具有处理 区， 处理区至少设置有存放酸液的酸槽； 样品处 理设备被配置为： 上料组件用于向第一移料组件 转移待处理的样品， 且待处理的样品能够通过第 一移料组件转移至第二移料 组件， 并通过第二移 料组件转移至处理区内执行处理， 已处理的样品 能够通过第二移料组件转移 至第一移料组件， 下 料组件用于从第一移料组件转移已处理的样品。 通过设置第一移料组件接收来自上料组件的待 处理样品， 并向下料组件输出已处理的样品， 使 得上料组件与下料组件不会直接接触酸槽内的 酸液， 能够延长上料组件、 下料组件的使用寿命， 减少维护成本 。 权利要求书3页 说明书12页 附图10页 CN 115541344 A 2022.12.30 CN 115541344 A 1.样品处理设备， 其特征在于， 包括机架 组件以及连接于所述机架 组件的上料组件、 下 料组件、 第一移料 组件与第二移料组件， 所述机架组件具有处理区， 所述处理 区至少设置有 存放酸液的酸槽； 其中， 所述样品处理设备被配置为： 所述上料组件用于向所述第一移料组件转移待处 理的样品， 且待处理的样品能够通过所述第一移料组件转移至所述第二移料组件， 并通过 所述第二移料组件转移至所述处理 区内执行处理， 已处理的样品能够通过所述第二移料组 件转移至所述第一移料组件， 所述下 料组件用于从所述第一移料组件转移已处 理的样品。 2.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述处理区还设置有存放清洗液 的清洗槽， 所述酸槽与所述清洗 槽沿第一水平方向排布； 所述第一移料组件被配置为： 能够沿所述第一水平方向依次承载待酸蚀的样品、 待清 洗的样品与已处理的样品， 并能够同步驱动待酸蚀的样品、 待清洗的样品与已处理的样品 沿所述第一水平 方向移动， 以使待酸蚀的样品从与所述上料组件对应的上料工位移动至与 所述酸槽对应的酸蚀工位， 使待清洗的样品从所述酸蚀工位移动至与所述清洗槽对应的清 洗工位， 以及使已处 理的样品从所述清洗 工位移动至与所述下 料组件对应的下 料工位。 3.根据权利要求2所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述第一移料组件包括第一支 架， 以及沿所述第一水平方向依 次连接于所述第一支架的第一移料部件、 第二移料部件与 第三移料部件， 所述第一移料部件用于承载待酸蚀的样品， 所述第二移料部件用于承载待 清洗的样品， 所述第三移料部件用于承载已处 理的样品； 所述第二移料组件包括第 二支架， 以及沿第 一水平方向依次连接于所述第 二支架的第 一升降部件与第二升降部件， 所述第一升降部件位于所述酸蚀工位， 用于承载并驱动待酸 蚀的样品进入所述酸槽， 所述第二升降部件位于所述清洗工位， 用于承载并驱动待清洗的 样品进入所述清洗 槽； 所述样品处理设备被配置为： 所述第一支架能够在第一位置与第二位置之间移动， 当 所述第一支架处于所述第一位置， 所述第一移料部件、 所述第二移料部件与所述第三移料 部件分别位于所述上料工位、 所述酸蚀工位与所述清洗工位， 用于将待酸蚀的样品从所述 上料组件转移至所述第一移料部件， 将待清洗的样品从所述第一升降部件转移至所述第二 移料部件， 以及将已处理的样品从所述第二升降部件转移至所述第三移料部件； 当所述第 一支架处于所述第二位置， 所述第一移料部件、 所述第二移料部件与所述第三移料部件分 别位于所述酸蚀工位、 所述清洗工位与所述下料工位， 用于将待酸蚀的样品从所述第一移 料部件转移至所述第一升降部件， 将待清洗的样品从所述第二移料部件转移至所述第二升 降部件， 以及将已处 理的样品从所述第三移料部件转移至所述下 料组件。 4.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述第 一移料组件包括 能够沿第 二水平方向在第三位置与第四位置之 间移动的移料部件， 所述第二移料组件包括能够沿竖 直方向移动的升降部件； 所述样品处理设备被配置为： 当所述移料部件位于所述第三位置时， 所述升降部件能 够承载样品沿竖直方向移动； 当所述移料部件位于所述第四位置， 且所述升降部件从下向 上移动时， 能够将承载于所述移料部件的样品转移至所述升降部件； 当所述移料部件位于 所述第四位置， 且所述升降部件从上向下移动时， 能够将承载于所述升降部件的样品转移 至所述移料部件。权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115541344 A 25.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述样品处理设备包括以下方案 中的至少一种： 所述第一移料组件包括第 一支架与移料部件， 所述移料部件由耐腐蚀材料制成且可拆 卸连接于所述第一支 架； 所述第二移料组件包括第 二支架与升降部件， 所述升降部件由耐腐蚀材料制成且可拆 卸连接于所述第二支 架； 所述上料组件包括多轴机 械手； 所述下料组件包括多轴机 械手。 6.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述样品处理设备被配置为： 所 述第二移料组件能够驱动多组待酸蚀的样品通过所述酸槽依次完成酸蚀， 且后一组样品的 酸蚀时间长 于前一组样品的酸蚀时间。 7.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述样品处理设备包括以下方案 中的至少一种： 所述样品处理设备还包括第一加热装置， 所述第一加热装置与所述酸槽导热连接， 且 第一加热装置被配置为： 用于将所述酸槽内的酸液加热至第一温度， 以及， 在对样品进行酸 蚀时将所述 酸槽内的酸液加热至第二温度， 其中， 所述第二温度大于所述第一温度； 所述样品处理设备还包括第二加热装置与清洗槽， 所述清洗槽用于存放清洗液， 所述 第二加热装置用于对所述清洗 槽内的清洗液进行加热。 8.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述样品处理设备还包括样品存 储组件， 所述样品存储组件用于存储待处理的样品， 所述上料组件能够从所述样品存储组 件获取待处理样品， 或者， 所述样品存储组件用于存储已处理的样品， 所述下料组件能够将 已处理的样品转移至所述样品存 储组件， 所述样品存 储组件包括以下 方案中的至少一种： 所述样品存储组件包括存储架与 连接于所述存储架的滚轮， 所述存储架能够通过所述 滚轮移动； 所述样品存储组件包括多个存储位， 所述存储位用于存储待处理的样品， 所述样品处 理设备还包括控制器， 所述控制器被配置为记录各所述存储位对应的样品信息， 并基于样 品信息控制所述上 料组件从目标存 储位获取待处 理的样品； 所述样品存储组件包括多个存储位， 所述存储位用于存储待处理的样品， 所述样品处 理设备还包括控制器与识别装置， 所述识别装置用于获取待处理的样品的样品信息， 所述 控制器被配置基于样品信息控制所述上 料组件从目标存 储位获取待处 理的样品。 9.根据权利要求1所述的样品处理设备， 其特征在于， 所述机架组件包括操作台与壳 体， 所述操作台具有所述处理区， 所述壳体连接于所述操作台， 且所述壳体具有开口， 所述 机架组件 包括以下 方案中的一种： 所述机架 组件还包括软帘， 所述软帘连接于所述壳体， 并封闭所述开口， 至少所述处理 区位于所述壳体内， 所述上 料组件能够驱动待处 理的样品推动所述软帘以进出 所述壳体； 所述机架 组件还包括软帘， 所述软帘连接于所述壳体， 并封闭所述开口， 至少所述处理 区位于所述壳体内， 所述下 料组件能够驱动已处 理的样品推动所述软帘以进出 所述壳体； 所述样品处理设备还包括样品存储组件， 所述样品存储组件包括存储架与 连接于所述 存储架的滚轮， 所述存储架能够通过所述滚轮移动， 并能够定位至设定位置以覆盖所述开权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115541344 A 3