(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210469073.X (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人 弥费实业 （上海） 有限公司 地址 200131 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区秋山路 1775弄3-4号1楼 (72)发明人 成龙　祝强强　缪峰　 (74)专利代理 机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 1 1718 专利代理师 黎飞鸿　郑纯 (51)Int.Cl. G06T 7/73(2017.01) G06V 10/24(2022.01) H01L 21/677(2006.01) (54)发明名称 一种位置识别系统 (57)摘要 本发明提供了一种位置识别系统， 用于识别 晶圆盒载盘的三维坐标信息， 晶圆盒载盘为多个 并设置于晶圆盒存储架中， 位置识别系统包括： 对应设置于每个晶圆盒载盘定位标志和识别标 志； 摄像装置， 用于拍摄记载有定位标志的定位 图像和记载有识别标志的识别图像； 处理器通讯 连接摄像装置的处理器， 用于： 获取定位图像， 基 于定位图像识别晶圆盒载盘的偏转角度， 获取偏 转角度小于预设数值的晶圆盒载盘对应的识别 图像， 根据识别图像确定晶圆盒载盘的编号信息 和三维坐标信息。 通过判断晶圆盒载盘是否处于 水平状态， 然后获取水平的晶圆盒载盘的编号信 息和三维坐标信息， 为后续堆垛作业提供作业参 数， 保障堆 垛作业安全和晶圆盒储 存安全。 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 CN 114972505 A 2022.08.30 CN 114972505 A 1.一种位置识别系统， 用于识别晶圆盒载盘的三维坐标信息， 所述晶圆盒载盘为多个 并设置于晶圆盒存 储架中， 其特 征在于， 所述 位置识别系统包括： 多个定位标志和多个识别标志， 所述定位标志和所述识别标志对应设置于每个所述晶 圆盒载盘； 摄像装置， 用于： 拍摄所述定位标志以生成定位图像， 以及拍摄所述识别标志以生成识别图像； 处理器， 所述处 理器与所述摄 像装置通讯连接， 用于： 获取所述定位图像， 基于所述定位图像识别晶圆盒载盘的偏转角度， 获取所述偏转角 度小于预设数值的所述晶圆盒载盘对应的所述识别图像， 根据所述识别图像确定所述晶圆 盒载盘的编号信息和三维坐标信息 。 2.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述定位标志设置于所述晶圆盒 载盘的承载面上； 和/或， 所述识别标志设置 于所述晶圆盒载盘的外侧面。 3.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述定位标志包括多条直线段 和/或多条曲线段。 4.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述摄像装置设置于堆垛机械臂 的末端， 所述 堆垛机械臂用于向所述晶圆盒载盘放置晶圆盒。 5.根据权利要求4所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述摄像装置包括第 一摄像装置 和第二摄像装置， 所述第一摄像装置设置于所述末端的下侧端面， 所述第二摄像装置设置 于所述末端的上侧端面。 6.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特 征在于， 所述摄 像装置包括高速相机 。 7.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述摄像装置还包括光源， 所述 光源用于向所述定位标志和/或所述识别标志提供照明。 8.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述位置识别系统还包括数据存 储模块， 所述数据存储模块用于存储所述晶圆盒载盘的偏转角度信息、 编号信息和 三维坐 标信息中的任意 一种或组合。 9.根据权利要求8所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述位置识别系统还包括计算模 块， 所述计算模块用于根据第一晶圆盒载盘和 第二晶圆盒载盘的三 维坐标信息计算第三晶 圆盒载盘的三维坐标 数据； 其中， 所述第 一晶圆盒载盘、 所述第 二晶圆盒载盘和所述第 三晶圆盒载盘呈直线结构， 所述第一晶圆盒载盘位于所述直线结构的起点， 所述第二晶圆盒载盘位于所述第一晶圆盒 载盘的相邻位置， 所述第三晶圆载盘位于所述 直线结构的其 余位置。 10.根据权利要求1所述的位置识别系统， 其特征在于， 所述位置识别系统还包括报警 模块， 所述报警模块用于： 获取每个晶圆盒载盘的偏转角度； 当偏转角度 大于等于预设数值 时， 输出报 警信号， 其 中所述报警信号包括所述晶圆盒载盘的编号信息 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114972505 A 2一种位置识别系统 技术领域 [0001]本说明书涉及半导体生产中的 晶圆传输存 储设备， 具体涉及一种位置识别系统。 背景技术 [0002]在晶圆的生产过程中， 需要专门的晶圆盒的储存装置， 例如在机台附近设置 的缓 存区域， 该些储存区域一般采用晶圆盒储存架来实现储存功能。 晶圆盒储存架设置有多个 晶圆盒载盘， 便 于自动堆 垛装置放置晶圆盒。 [0003]在使用过程， 由于重力沉降、 安装或维护、 堆垛过程中的碰撞等原因， 晶圆盒载盘 可能发生歪斜， 然而晶圆盒 中放置有 数十片晶圆， 如果 发生意外坠落的现象， 将会造成重大 的损失。 因此， 需要一种晶圆盒载盘使用的位置识别系统， 能够判断晶圆盒载盘是否处于水 平状态， 并且获取圆盒载盘的三维坐标信息， 以便 于晶圆盒的自动堆 垛作业。 发明内容 [0004]鉴于现有技术存在的问题， 本发明的目的在于提供一种位置识别系统， 能够判断 晶圆盒载盘的水平状态， 并获取水平的晶圆盒载盘的位置信息和编号信息， 为后续堆垛作 业提供作业 参数， 保障堆 垛作业安全和储 存安全。 [0005]本说明书实施例提供以下技 术方案： [0006]一种位置识别系统， 用于识别晶圆盒载盘 的三维坐标信息， 所述晶圆盒载盘为多 个并设置 于晶圆盒存 储架中， 所述 位置识别系统包括： [0007]多个定位标志和多个识别标志， 所述定位标志和所述识别标志对应设置于每个所 述晶圆盒载盘； [0008]摄像装置， 用于： [0009]拍摄所述定位标志以生成定位图像， 以及拍摄所述识别标志以生成识别图像； [0010]处理器， 所述处 理器通讯连接所述摄 像装置， 用于： [0011]获取所述定位图像， 基于所述定位图像识别晶圆盒载盘 的偏转角 度， 获取所述偏 转角度小于预设数值的所述晶圆盒载盘对应的所述识别图像， 根据所述识别图像确定所述 晶圆盒载盘的编号信息和三维坐标信息 。 [0012]在上述方案中， 首先根据摄像装置拍摄的定位图像， 由处理器判断晶圆盒载盘的 水平状态是否符合预设标准， 然后处理器获取摄像装置拍摄的识别图像， 确定晶圆盒载盘 的编号信息和 三维坐标信息， 为后续堆垛作业提供作业参数， 避免了堆垛作业将晶圆盒放 置于歪斜的晶圆盒载盘上的风险， 保障堆 垛作业安全和晶圆盒储 存安全。 [0013]本说明书实施例还提供一种方案， 所述定位标志设置于所述晶圆盒载盘的承载 面； [0014]和/或， 所述识别标志设置 于所述晶圆盒载盘的外侧面。 [0015]本说明书实施例还提供一种方案， 所述定位标志包括多条直线段和/或多条曲线 段。说　明　书 1/6 页 3 CN 114972505 A 3