(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221250462.5 (22)申请日 2022.05.23 (73)专利权人 江苏新智达新能源设备有限公司 地址 214000 江苏省无锡市梁 溪区会北路 26-14 (72)发明人 向军　 (74)专利代理 机构 南京中高专利代理有限公司 32333 专利代理师 陈章 (51)Int.Cl. B65G 47/74(2006.01) (54)实用新型名称 一种共晶焊 接烧结炉中的料片传输 机构 (57)摘要 本实用新型提供了一种共晶焊接烧结炉中 的料片传输机构， 包括机架、 载具和料片， 所述载 具固定在所述机架上， 所述料片放置在所述载具 上， 还包括同步支撑架、 横向移动机构和竖直移 动机构， 所述同步支撑架包括左支撑杆、 右支撑 杆和同步板， 所述左支撑杆和右支撑杆分别设置 在所述载具的两侧， 左支撑杆和右支撑杆通过同 步板进行同步连接， 竖直移动机构驱动左支撑杆 和右支撑杆向上抬起料片， 向下移动放置料片， 横向移动机构驱动左支撑架和右支撑架将料片 移动到下一个工位， 实现料片可依次经过各个工 位的传输， 相较于通过夹持装置夹持料盘进行转 运的方式， 有效的节约了各工位上方的空间， 同 时结构简单可靠， 便于拆装和维护。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217417320 U 2022.09.13 CN 217417320 U 1.一种共 晶焊接烧结炉中的料片传输机构， 包括机架 （1） 、 载具 （2） 和料片 （3） ， 所述载 具 （2） 固定在所述机架 （1） 上， 所述料片 （3） 放置在所述载具 （2） 上， 其特征在于， 还包括同步 支撑架、 横向移动机构和竖直移动机构， 所述同步支撑架包括左支撑杆 （4） 、 右支撑杆 （5） 和同步板 （6） ， 所述左支撑杆 （4） 和右 支撑杆 （5） 分别设置在所述载具 （2） 的两侧， 所述左支撑杆 （4） 和右支撑杆 （5） 上均设有L型 槽口， 所述料片 （3） 的两端放置在所述L型槽口上， 所述左支撑杆 （4） 和右支撑杆 （5） 的两端 分别安装有第一连接板 （7） 和第二连接板 （8） ， 所述同步板 （6） 的一端与所述第一连接板 （7） 固定连接， 所述同步板 （6） 的另一端与所述第二连接 板 （8） 固定连接， 所述横向移动机构和竖直移动机构可驱动所述同步支撑架支撑所述料片 （3） 在所述载 具 （2） 上进行移动。 2.如权利要求1所述的一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构， 其特征在于， 所述横向 移动机构包括第一伺服电机 （9） 、 第一丝杆 （10） 、 第一滑块 （11） 和第一滑轨 （12） ， 所述第一 伺服电机 （9） 横向固定在所述机架 （1） 上， 所述第一丝杆 （10） 与所述第一伺服电机 （9） 的输 出端传动连接， 所述第一丝杆 （10） 上套设有第一螺母， 所述第一螺母 上固定有 连接块 （13） ， 所述连接块 （13） 上固定连接有支撑板 （14） ， 所述第一滑 块 （11） 固定在所述支撑板 （14） 的底 面， 所述第一滑块 （11） 滑动设置在所述第一滑轨 （12） 上， 所述第一滑轨 （12） 横向固定在所 述机架 （1） 上。 3.如权利要求2所述的一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构， 其特征在于， 所述竖直 移动机构包括第二伺服电机 （15） 、 第二丝杆 （16） 、 第二滑块 （17） 和第二滑轨 （18） ， 所述第二 伺服电机 （15） 竖直固定在所述支撑板 （14） 底面， 所述第二丝杆 （16） 与所述第二伺服电机 （15） 的输出端传动连接， 所述第二丝杆 （16） 上套设有第二螺母， 所述第二滑块 （17） 固定在 所述第二螺母上， 所述第二滑块 （17） 的一侧滑动 设置在所述第二滑轨 （18） 上， 所述第二滑 块 （17） 另一侧与所述同步板 （6） 固定连接， 所述第二滑轨 （18） 竖直固定在所述支撑板 （14） 的上面。 4.如权利要求3所述的一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构， 其特征在于， 所述第 一 滑轨 （12） 上， 位于所述第一滑块 （11） 的两侧均设有若干个第三滑块 （19） ， 若干个所述第三 滑块 （19） 均通过连接杆 （20） 与所述支撑板 （14） 固定连接， 每个所述第三滑块 （19） 上均固定 设置有第三滑轨 （21） ， 每个所述第三滑轨 （21） 上滑动设置有第四滑块 （22） ， 每个所述第四 滑块 （22） 均与所述同步板 （6） 固定连接 。 5.如权利要求4所述的一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构， 其特征在于， 所述左支 撑杆 （4） 和右 支撑杆 （5） 穿过第一连接 板 （7） 的端部均设有螺帽 （23） 和弹簧 （24） 进行固定 。 6.如权利要求5所述的一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构， 其特征在于， 所述同步 板 （6） 上安装有油压缓冲器 （25） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217417320 U 2一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体制造领域， 尤其涉及一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机 构。 背景技术 [0002]共晶焊接技术在电子封装行业具有广泛的应用， 如晶片与基板 的粘接、 基板与管 壳的粘接、 管壳封帽等等， 与传统的环氧导电胶 粘接相比， 共晶焊接具有 热导率高、 热阻低、 传热快、 可靠性 强、 粘接后强度大的优点， 适用于高频、 大功 率器件中晶片与基板、 基板与管 壳的互联。 [0003]半导体的共晶焊接烧结炉 中一般设置有多道工位， 包括料片的加热工位、 固晶工 位和共晶烧结工位等， 物料依 次通过多个工位直至加工完成， 这就需要转运装置进行物料 在各个工位之间的传输 。 实用新型内容 [0004]本实用新型要解决的技术问题是， 半导体 的共晶焊接烧结炉 中， 需要转运装置进 行物料在各个工位之间的传输， 本实用新型提供了一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构 来解决上述问题。 [0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 一种共晶焊接烧结炉中的料片 传输机构， 包括机架、 载具和料片， 所述载具固定在所述机架上， 所述料片放置在所述载具 上， 还包括同步支撑架、 横向移动机构和竖直移动机构， 所述同步支撑架包括左支撑杆、 右 支撑杆和同步板， 所述左支撑杆和右支撑杆分别设置在所述载具 的两侧， 所述左支撑杆和 右支撑杆上均设有L型槽口， 所述料片的两端放置在所述L型槽口上， 所述左支撑杆和右支 撑杆的两端分别安装有第一连接板和 第二连接板， 所述同步板的一端与所述第一连接板固 定连接， 所述同步板的另一端与所述第二连接板固定连接， 所述横向移动机构和竖直移动 机构可驱动所述同步支撑架 支撑所述料片在所述载 具上进行移动。 [0006]进一步地： 所述横向移动机构包括第一伺服电机、 第一丝杆、 第一滑块和第一滑 轨， 所述第一伺服电机横向固定在所述机架上， 所述第一丝杆与所述第一伺服电机的输出 端传动连接， 所述第一丝杆上套设有第一螺母， 所述第一螺母 上固定有 连接块， 所述连接块 上固定连接有支撑板， 所述第一滑块固定在所述支撑板的底面， 所述第一滑块滑动设置在 所述第一滑轨上， 所述第一滑轨横向固定在所述机架上。 [0007]进一步地： 所述竖直移动机构包括第二伺服电机、 第二丝杆、 第二滑块和第二滑 轨， 所述第二伺服电机竖直固定在所述支撑板底面， 所述第二丝杆与所述第二伺服电机的 输出端传动连接， 所述第二丝杆上套设有第二螺母， 所述第二滑块固定在所述第二螺母上， 所述第二滑块的一侧滑动设置在所述第二滑轨上， 所述第二滑块另一侧与所述同步板固定 连接， 所述第二滑轨竖直固定在所述支撑 板的上面。 [0008]进一步地： 所述第一滑轨上， 位于所述第一滑块的两侧均设有若干个第三滑块， 若说　明　书 1/4 页 3 CN 217417320 U 3