(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210635635.3 (22)申请日 2022.06.06 (71)申请人 魅杰光电科技 （上海） 有限公司 地址 200131 上海市浦东 新区中国(上海) 自由贸易试验区临港新片区海洋一路 333号1号楼、 2号楼 (72)发明人 李明瑞　 (74)专利代理 机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 1 1718 专利代理师 黄贞君　黎飞鸿 (51)Int.Cl. G02B 7/02(2021.01) G02B 7/04(2021.01) G03F 7/20(2006.01) H04N 5/225(2006.01) (54)发明名称 照相检测系统及方法 (57)摘要 本申请提供一种照相检测系统及方法， 应用 于光路设计技术领域， 包括： 相机套筒、 转接套筒 和透镜套筒； 转接套筒设置在相机套筒和透镜套 筒之间， 通过定位销将相机套筒设置在转接套筒 中预设位置处， 相机套筒与转接套筒同心， 透镜 套筒与转接套筒同心。 与现有技术相比， 本申请 将转接套筒与相机套筒通过定位销定位， 通过调 节透镜套筒， 从而可以准确快捷的实现距离在要 求范围内， 提高了对焦位置的准确性和便捷性， 降低了高度误差带来的失误， 提高了晶圆检测效 率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 115220168 A 2022.10.21 CN 115220168 A 1.一种照相检测系统， 其特 征在于， 包括： 相机套 筒、 转接套 筒和透镜套筒； 所述转接套筒设置在所述相机套筒和所述透镜套筒之间， 通过定位销将所述相机套筒 设置在所述转接套筒中预设位置处， 所述相 机套筒与所述转接套筒同心， 透镜套筒与所述 转接套筒同心。 2.根据权利要求1所述的照相检测系统， 其特征在于， 所述转接套筒设置在所述相机套 筒和所述透 镜套筒之间， 包括： 所述相机套筒设置在所述转接套筒的第 一端， 所述透镜套筒设置在所述转接套筒的第 二端。 3.根据权利要求1所述的照相检测系统， 其特征在于， 在所述转接套筒中设置定位槽， 在所述相机套 筒上设置 定位销。 4.根据权利要求3所述的照相检测系统， 其特征在于， 所述定位销设置在所述定位槽在 所述相机套 筒上对应的位置处。 5.根据权利要求1所述的照相检测系统， 其特征在于， 所述照相检测系统中还包括， 相 机； 所述相机的内螺纹与所述相机套 筒上部的外 螺纹配合， 得到第一螺纹模块； 所述转接套筒的内螺纹与所述透 镜套筒的外螺纹配合， 得到第二螺纹模块。 6.根据权利要求5所述的照相检测系统， 其特征在于， 通过调 整所示第 一螺纹模块和第 二螺纹模块对所述照相检测系统进行调焦处 理。 7.根据权利要求5所述的照相检测系统， 其特征在于， 所述内螺纹和所述外螺纹使用细 牙螺纹。 8.根据权利要求1所述的照相检测系统， 其特 征在于， 所述定位销包括： 圆柱销。 9.一种照相检测方法， 其特 征在于， 应用于 权利要求1所述的照相检测系统， 包括： 通过定位销将转接套 筒与相机套 筒定位， 通过调节透 镜套筒进行调焦。 10.根据权利要求9所述的照相检测方法， 其特征在于， 通过所述定位销实现所述转接 套筒与所述相机套 筒同心， 以及所述 转接套筒与所述透 镜套筒同心。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115220168 A 2照相检测系统及方 法 技术领域 [0001]本申请涉及光路设计技 术领域， 具体涉及一种照相检测系统及方法。 背景技术 [0002]光路装置主要应用于关键尺寸(Critical  Dimension， CD)量测、 自动光学检测 (Automated  Optical Inspection， AOI)和套刻精度(overlay， OVL)检测方面等， 光路装置 有相机、 透 镜、 聚焦系统 组成， 在应用时需要对光路进行机构设计。 [0003]目前， 在进行光路设计时， 由于必须保证透镜面到相机成像面的距离为定值， 同时 考虑安装顺序及拆卸 方便， 选用螺纹连接， 轴向采用螺纹连接， 由于螺纹连接存在间隙， 在 周向有一定的窜动， 同心度无法 保证， 因此， 必须考虑对光路装置进行周向定位减小 窜动。 [0004]因此， 需要一种新的减小光路装置周向窜动的技 术方案。 发明内容 [0005]有鉴于此， 本说明书实施例提供一种照相检测系统及方法， 以解决现有技术中存 在的周向窜动， 导 致同心度无法 保证的技 术问题。 [0006]本说明书实施例提供以下技 术方案： [0007]本说明书实施例提供一种照相检测系统， 包括： 相机套 筒、 转接套 筒和透镜套筒； [0008]转接套筒设置在相机套筒和透镜套筒之间， 通过定位销将相机套筒设置在转接套 筒中预设位置处， 相机套 筒与转接套 筒同心， 透 镜套筒与转接套 筒同心。 [0009]在一种可选的实施方式 中， 转接套 筒设置在相机套 筒和透镜套筒之间， 包括： [0010]相机套筒设置在转接套 筒的第一端， 透 镜套筒设置在转接套 筒的第二端。 [0011]在一种可选的实施方式 中， 在转接套 筒中设置 定位槽， 在相机套 筒上设置 定位销。 [0012]在一种可选的实施方式 中， 定位销设置在定位槽在相机套 筒上对应的位置处。 [0013]在一种可选的实施方式 中， 照相检测系统中还 包括， 相机； [0014]相机的内螺纹与相机套 筒上部的外 螺纹配合， 得到第一螺纹模块； [0015]转接套筒的内螺纹与透 镜套筒的外螺纹配合， 得到第二螺纹模块。 [0016]在一种可选的实施方式中， 通过调整所示第一螺 纹模块和第二螺纹模块对照相检 测系统进行调焦处 理。 [0017]在一种可选的实施方式 中， 内螺纹和外 螺纹使用细牙螺纹。 [0018]在一种可选的实施方式 中， 定位销包括： 圆柱销。 [0019]本说明书实施例还提供一种照相检测方法， 应用于上述的照相检测系统， 包括： [0020]通过定位销将转接套 筒与相机套 筒定位， 通过调节透 镜套筒进行调焦。 [0021]在一种可选 的实施方式中， 通过定位销实现转接套筒与相机套筒同心， 以及转接 套筒与透镜套筒同心。 [0022]与现有技术相比， 本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益 效果至少包括： 提高了对焦位置的准确性和便捷性， 降低了高度误差带来的失误， 提高了晶说　明　书 1/3 页 3 CN 115220168 A 3